技術(shù)中心2025-03-12
平晶（Optical Flat）是以光波干涉法測量平面的平面度、直線度、研合性以及平行度的計量器具。三豐提供的平晶有兩種：平行平晶和平面平晶，這二者有什么區(qū)別呢？小編為此整理了一張表格，供您參考。
平行平晶
VS
平面平晶
| 項目 | 平行平晶 | 平面平晶 |
英文名稱 | Optical Parallels | Optical Flats |
| 日文表述 | オプチカルパラレル | オプチカルフラット |
| 產(chǎn)品 圖片 |
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| 精度 等級 | 1級
| 2級
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| 檢測 項目 | 千分尺測量面的平行度和平面度 | 測量面的平面度 |
| 測量 方式 | 將平行平晶緊貼測砧的測量面，觀察在測力作用下測微螺桿方向產(chǎn)生的紅色干涉條紋數(shù)量 | 通過平面平晶的干涉條紋檢測平面度 |
| 測量 示例 |
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干涉條紋 檢測圖例 |
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| 干涉條紋 的說明 | 上圖中為0.32μm×3=0.96μm，平行度約1μm | 左圖1為溝槽狀壓痕形成的干涉條紋，0.32μm×4=1.28μm，平面度約1.3μm， 右圖2為缽狀壓痕形成的干涉條紋，0.32μm×2=0.64μm，平面度約0.6μm |
